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序號
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代碼
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股票名稱
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說明
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| 1 | SH688072 | 拓荊科技-U | PECVD 系列產品、ALD 系列產品、SACVD 系列產品、HDPCVD 系列產品、Flowable CVD 系列產品和三維集成領域系列產品 |
| 2 | SH688082 | 盛美上海 | 清洗設備、半導體電鍍設備、立式爐管系列設備、涂膠顯影Track設備、等離子體增強化學氣相沉積PECVD設備、無應力拋光設備、后道先進封裝工藝設備、硅材料襯底制造工藝設備 |
| 3 | SH688726 | 拉普拉斯 | 硼擴散、磷擴散、氧化及退火設備、低壓化學氣相沉積（LPCVD）設備、等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）設備、原子層沉積（ALD）設備、原子層邊緣鈍化沉積（EPD）設備、電池間隙貼膜機、激光設備 |